ขณะที่กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลกเคลื่อนไปสู่โหนดขั้นสูงขนาด 3 นาโนเมตร/2 นาโนเมตร วัสดุไทเทเนียมที่มีความแม่นยำ (ASTM B265/B348, ไทเทเนียมบริสุทธิ์และโลหะผสมไทเทเนียมเกรด 1/2/5 สูง-) กำลังอัปเกรดจาก "วัสดุเสริม" ไปเป็นวัสดุเชิงกลยุทธ์ที่สำคัญสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยมีข้อได้เปรียบหลัก เช่น -ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ สิ่งเจือปนต่ำเป็นพิเศษ- เสถียรภาพทางความร้อนที่แข็งแกร่ง ความต้านทานการกัดกร่อน และ คุณสมบัติที่ไม่ใช่-แม่เหล็ก ความสนใจและความต้องการของตลาดเพิ่มขึ้นพร้อมกัน
ตัวขับเคลื่อนหลัก: กระบวนการขั้นสูงบังคับให้มีการอัพเกรดวัสดุ
กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง (5 นาโนเมตรและต่ำกว่า) ต้องการข้อกำหนดฮาร์ดคอร์ที่สำคัญสามประการสำหรับวัสดุ ได้แก่ ความแม่นยำระดับนาโนเมตร ความสะอาดระดับอะตอม และความเสถียรด้านสิ่งแวดล้อมขั้นสูงสุด:
-วัสดุเป้าหมายไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูง (เกรด 1 ความบริสุทธิ์มากกว่าหรือเท่ากับ 99.999%/5N): วัสดุแกนสปัตเตอร์ PVD ใช้สำหรับชั้นกั้นการเชื่อมต่อระหว่างทองแดง ปลั๊กหน้าสัมผัส เพื่อป้องกันการแพร่กระจายของอะตอมทองแดงจากการปนเปื้อนเวเฟอร์ซิลิคอน กำหนดผลผลิตและประสิทธิภาพของชิปโดยตรง เหมาะสำหรับกระบวนการ 130-3 นาโนเมตรทั้งหมด
-ส่วนประกอบโครงสร้างที่มีความแม่นยำ (เกรด 2/5): โต๊ะทำงานของเครื่องกัดหิน ห้องเครื่องแกะสลัก หน้าแปลนสูญญากาศ แขนหุ่นยนต์เวเฟอร์ ฯลฯ โดยมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ (8.6 × 10 ⁻⁶/ องศา ) และการเปลี่ยนแปลงรูปของอุณหภูมิที่ผันผวนเพียง 1/3 ของโลหะผสมอะลูมิเนียม ทำให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำของตำแหน่งระดับนาโนเมตร
-ส่วนประกอบที่ต้านทานการกัดกร่อน (เกรด 7): ทนทานต่อการกัดกร่อนของกรด/ฮาโลเจนที่รุนแรงในอุปกรณ์กัดและทำความสะอาดแบบเปียก โดยไม่มีมลภาวะจากการตกตะกอนของโลหะ เหมาะสำหรับสุญญากาศสูงและสภาพการทำงานที่รุนแรงในพลาสมาที่แข็งแกร่ง
ข้อได้เปรียบหลักของวัสดุไทเทเนียมมาตรฐานอเมริกัน
1. ความบริสุทธิ์สูงพิเศษ+- สิ่งเจือปนต่ำมาก: ไทเทเนียมความบริสุทธิ์สูงเกรด 1 ของอเมริกา- พร้อมสิ่งเจือปนของออกซิเจน/ไนโตรเจน/คาร์บอนที่ควบคุมได้<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. ความเสถียรทางความร้อน+ความแม่นยำของมิติ: ค่าการนำความร้อนต่ำ (21.9W/(m · K)) ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนเล็กน้อย ความคลาดเคลื่อนสูงสุด ± 0.005 มม. ความเรียบของพื้นผิว Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.4 μm เหมาะสำหรับการประกอบระดับนาโนและการปิดผนึกสูญญากาศ
3. ความต้านทานการกัดกร่อน+ไม่-แม่เหล็ก+ปล่อยก๊าซต่ำ: ชั้นออกไซด์ตามธรรมชาติสามารถซ่อมแซมตัวเองได้- ทนต่อการกัดกร่อนของ Cl ₂/F ₂/กรดเข้มข้น ไม่เป็นแม่เหล็กและไม่รบกวนวงจรที่มีความแม่นยำ อัตราการปล่อยอากาศต่ำมากภายใต้สุญญากาศสูงพิเศษ- (UHV) ซึ่งรับประกันความสะอาดของห้องเพาะเลี้ยง
4. น้ำหนักเบาและมีความแข็งแรงสูง: ความหนาแน่น 4.51 กรัม/ซม. ³ (เบากว่าเหล็กกล้าไร้สนิม 40%) ความต้านทานแรงดึงเกรด 5 มากกว่าหรือเท่ากับ 930MPa มีความแข็งแรงเฉพาะเป็นสองเท่าของเหล็กกล้าไร้สนิม เหมาะสำหรับความต้องการน้ำหนักเบาของชิ้นส่วนที่เคลื่อนที่ด้วยความเร็วสูง-
สถานการณ์การใช้งานหลัก
-วัสดุเป้าหมายไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูง (เกรด 1): การสะสมสปัตเตอร์ PVD ใช้สำหรับชั้นกั้นชิปตรรกะ/การจัดเก็บและชั้นกาว โดยมีขนาดตลาดทั่วโลกที่ 1.87 พันล้านดอลลาร์สหรัฐในปี 2024 และ CAGR ที่ 9.3% ตั้งแต่ปี 2026 ถึง 2030
-ห้องสุญญากาศ/หน้าแปลน (เกรด 2): ระบบสุญญากาศสำหรับอุปกรณ์กัดและสะสม ทนทานต่อแรงดันสูง ปล่อยก๊าซต่ำ และการปิดผนึกที่เชื่อถือได้
-เอฟเฟกต์แขน/ปลายหุ่นยนต์ที่มีความแม่นยำ (เกรด 5): การถ่ายโอนเวเฟอร์ น้ำหนักเบาและมีความแข็งแรงสูง- การวางตำแหน่งที่แม่นยำ และไม่มีการไหลของอนุภาค
-วัสดุบุ/ฟิกซ์เจอร์ที่ทนต่อการกัดกร่อน (เกรด 7): อุปกรณ์ในกระบวนการเปียก ทนทานต่อกรดแก่ เช่น HF/HCl ช่วยยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์และลดค่าบำรุงรักษา
แนวโน้มตลาด: การทดแทนในประเทศ + ความก้าวหน้าทางเทคโนโลยี
การขยายกำลังการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก (โดยเฉพาะในจีนแผ่นดินใหญ่) ได้ผลักดันความต้องการวัสดุไทเทเนียมที่มีความแม่นยำเพิ่มขึ้นอย่างรวดเร็ว ในปี 2023 ขนาดตลาดของชิ้นส่วนไทเทเนียมสำหรับเซมิคอนดักเตอร์ของจีนจะมีมูลค่าเกิน 3 พันล้านหยวน โดยมีอัตราการเติบโตมากกว่า 25% ต่อปี การผลิตจำนวนมากอย่างมีเสถียรภาพของวัสดุไทเทเนียมความแม่นยำเกรด 1/2/5 มาตรฐานอเมริกัน (รวมถึงฟอยล์ไทเทเนียมบางพิเศษ- 0.05 มม. วัสดุเป้าหมายที่มีความบริสุทธิ์สูง- และส่วนประกอบโครงสร้างที่มีความแม่นยำ) เกิดขึ้นได้ โดยมีความคลาดเคลื่อนและความบริสุทธิ์ก้าวไปสู่ระดับขั้นสูงระดับสากล ช่วยให้ห่วงโซ่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สามารถควบคุมได้อย่างอิสระ
ภายใต้กระบวนการขั้นสูงและการทดแทนระบบขับเคลื่อนสองล้อในประเทศ วัสดุไทเทเนียมที่มีความแม่นยำซึ่งตรงตามมาตรฐานของอเมริกาได้กลายเป็นส่วนสนับสนุนหลักในการยกระดับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ในอนาคต พวกเขาจะยังคงเจาะลึกไปสู่ความบริสุทธิ์ที่สูงขึ้น (6N) ข้อกำหนดที่บางลง (น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.05 มม.) และการตัดเฉือนที่แม่นยำยิ่งขึ้น (± 0.002 มม.)
ขอใบเสนอราคา
อีเมล:bjcxtitanium@gmail.com
วอทส์แอพ:+8613571718779
